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이용수
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 논의
Ⅳ. 결론
참고문헌
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RF magnetron sputtering 법에 의한 $RuO_2$ 박막의 제조와 물성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
RF Magnetron Reactive Sputtering 법을 이용한 RuO₂ 박막의 제작과 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1997 .06
RF Magnetron Reactive Sputtering법을 이용한 RuO2 박막의 제작과 특성에 관한 연구 ( Preparation and Properties of RuO2 Thin Films by Using the RF Magnetron Reactive Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1997 .07
RF Magnetron Reactive Sputtering 법을 이용한 RuO2 박막의 제작과 특성에 관한 연구 ( Preparation and Properties of RuO2 Thin Films by Using the RF Magnetron Reactive Sputtering )
전자공학회논문지-D
1997 .08
RF 스퍼터링을 이용한 RuO₂ 박막 제작 및 물성 분석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .04
Rf Magnetron Sputtering으로 증착된 RuO$_2$ 박막의 미세구조 및 계면 반응 특성 분석
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
Reactive Sputter에 의한 RuO2의 증착 및 특성
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
Pt/$RuO_2$이종 전극의 증착 및 PZT 강유전체 박막에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
D.C Reactive Sputter 법에 의한 $RuO_2$ 박막 제조
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
$RuO_2$ 박막의 비저항
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
Ru/RuO2 전극에 성장한 PZT 박막의 특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2002 .01
RuO$_2$ 박막위에 입힌 Pb(Zr, Ti)O$_3$강유전체 박막의 피로 및 retention 특성
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
RF 스퍼터링법을 이용한 강유전체 LiNbO₃ 박막의 제작과 특성연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
Improvement of electrical properties of PZT films on RuO₂ electrodes
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1996 .11
$\textrm{RuO}_2$ 박막의 산소 분위기 열처리시 열적 안정성에 관한 연구
한국재료학회지
1998 .01
RF Sputtering 방법을 이용한 ZnO 투명전극의 특성
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
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