Top-Surface Imaging Process by Silylation을 이용한 미세 패턴 형성 방법 연구

박병준 ,  김진웅 ,  김형기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Silylation Photo resist 공정과 Enhanced-Inductively Coupled Plasma(E-ICP)

정재성 ,  박세근 ,  오범환

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

Photo resist for sequential photo patterning and thermo cure

조영욱 ,  김수민 ,  김진백

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .04

단층 RESIST의 미세패턴 형성 기술 ( Submicron Technology of Single Layer Photo-Resist )

배경성 ,  홍승각

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

Study of Positive-tone High Temperature Photo-resist

김준표 ,  이승우 ,  유은주 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .10

유기 ( 초 ) 박막 형성법

설창 ,  조재환

고분자 과학과 기술

1991 .01

Practical Implementation of Top-surface Imaging Process by Silylation to sub-0.20 μm Lithography

박병준 ,  백기호

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1997 .04

잉크젯을 이용한 미세패턴에 관련된 일반 이슈들

신동윤 ,  김동수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .11

Wetting-induced block copolymer patterning

하경원 ,  김진곤

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .10

Wetting-induced block copolymer patterning

하경원 ,  김진곤

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .04

산소 플라즈마를 이용한 Photo Resist 제거 ( Photo Resist Stripping by Oxygen Plasma )

김정호 ,  김원규 ,  노영수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

초음파 패턴성형시 패턴 방향에 따른 전사특성 고찰

서영수 ,  이기연 ,  박근

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2012 .04

습식식각을 이용한 나노박막 패터닝 기술

이민영 ,  이승훈 ,  김관오 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

정전 분무를 이용한 미세 물 액적 생성 및 습식 사이클론 적용 방안에 관한 연구

최종원 ,  정대헌 ,  이계중 외 6명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2017 .06

미세 전도성 패턴 형성을 위한 레이저 패터닝 기술

백병만 ,  이제훈 ,  신동식 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .04

미세 인쇄회로용 Laser Polymer Patterning 기술 개발

윤도영 ,  황신환 ,  손현기 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .04

Low Temperature Etching of Resist for Sub-Half Micron Patterning

박찬동 ,  김준모 ,  김진웅 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Optical Resist Process Technology for Deep-Submicron Patterning

문승찬 ,  복철규 ,  김진섭 외 3명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

극초단 광펄스 생성법

신상영 ,  이창희

전기의세계

1988 .07