ECRPCVD 방법을 이용한 A-Si:H 박막의 기판온도 변화에 따른 수소 농도와 전기적 특성

이진엽 ,  전법주 ,  강문상 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

ECRPCVD 방법으로 증착한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 광학 및 전기적 특성에 관한 연구 ( A Study on the optical and Electrical Characteristics of Hydrogenated Amorphous Silicon Films Prepared by ECRPCVD )

윤석규 ,  강문상 ,  김재영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

H2 / SiH4 와 마이크로웨이브 출력에 따른 ECRPCVD A-Si:H 박막의 특성

강문상 ,  이진엽 ,  전법주 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

H2 / SiH4 와 마이크로웨이브 출력에 따른 ECRPCVD A-Si : H 박막의 특성 ( The Characteristic of A-Si : H Films prepared by ECRPCVD As a Function of H2 / SiH4 and Microwave Power )

강문상 ,  이진엽 ,  전범주 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

ECRPCVD 방법을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 증착과 광학적 특성에 관한 연구 ( Deposition and Optical Characteristics of the Hydrogenated Amorphous Silicon Films Using ECR Plasma CVD )

김용일 ,  이진엽 ,  강문상 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

ECR 플라즈마 CVD로 증착한 비정질 실리콘 박막의 기판 온도와 열처리에 따른 전기적 특성

강문상

전자공학회논문지-IE

2001 .12

Poly-Si/$SiO_2$/Si 기판위에 증착된 코발트실리사이드의 전기적 특성

노영규 ,  장호정

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

$Al_2O_3$/si 기판위에 형성한 (Bi,La)$Ti_3O_{12}$ 박막의 특성

황선환 ,  장호정 ,  장영철

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Growth and Structural Properties of Fe Thin Films Electrodeposited on n-Si(111)

Hyun Deok Kim ,  Kyeong Won Pa ,  k 외 1명

한국정보통신학회논문지

2006 .09

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지용 전면 투명전도막 최적화 연구

정대영 ,  송준용 ,  김경민 외 4명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2011 .05

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

RF magnetron sputter를 이용하여 합성한 Si 박막의 결정성에 대한 수소 효과

서지민 ,  정민창 ,  명재민

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

Fe-Si-O계 박막의 연자기 특성

고은수 ,  윤대식 ,  조완식 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

다결정 박막 실리콘 태양전지를 위한 이종 기판 위의 seed layer 제작에 관한 연구

김형남 ,  이규열 ,  김대원 외 1명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2000 .06

전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Bi₄Ti₃O₁₂ 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구

김성진 ,  정양희 ,  윤영섭

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

저수소화 비정질 Si 박막 증착 및 ELC poly-Si TFT의 특성 연구

한상용 ,  최재식 ,  권도현 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01