스퍼터링을 이용한 PSL ( Porous Silicon Layer ) 의 균질성 개선 ( Uniformity Improvement of PSL Using Sputtering )

조찬섭; 양천순; 이종현

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 조찬섭 양천순 이종현

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 제12권 1호

발행연도: 1989.7

수록면: 315 - 318 (4page)

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