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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2002.11
- 수록면
- 394 - 398 (5page)
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For the semiconductor clean room, DOP is not acceptable due to the possibility of the oil based carrier escaping the filters. Thus we have development and tested an alternative approach for a polydispersed polystyrene latex particle(PSL) for HEPA filter used by clean room. The manufactured PSL particles showed that GMD and GSD were 0.97 ㎛, 1.87. The HEPA filters show the most penetrating particles size is around 0.2㎛ in diameter. Thus performance test of HEPA filters using polydispersed PSL particles recommended as DOP substitution.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
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