고분해능 XRD를 이용한 태양전지용 단결정 실리콘 웨이퍼의 에칭 전·후의 구조 특성 분석

정인영; 전현구; 최민혁; 김창수; 정양수; 육영진; 이송희

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저자정보: 정인영 (한국표준과학연구원) 전현구 (한국표준과학연구원) 최민혁 (한국표준과학연구원) 김창수 (한국표준과학연구원) 정양수 (충남대학교) 육영진 (웅진에너지 주식회사) 이송희 (웅진에너지 주식회사)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.2

수록면: 314 - 314 (1page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2016

고분해능 XRD를 통한 단결정 웨이퍼의 표면 데미지 분석

정인영 물리학과 2016.01 학위논문

2015

고분해능 XRD를 이용한 태양전지용 단결정 실리콘 웨이퍼의 에칭 전·후의 구조 특성 분석

정인영 , 전현구 , 최민혁 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

2014

고분해능 XRD를 이용한 solar wafer의 결정성 및 잔류응력 분석

정인영 , 전현구 , 최민혁 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2014.08 학술대회자료

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#고분해능 XRD #X-ray Diffractometry #태양전지용 단결정 실리콘 웨이퍼 #에칭(etching) #결정성 #격자상수

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 11 이용수 723

전현구

소속기관 충남대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 컴퓨터학

논문수 10 이용수 1,448

최민혁

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 7 이용수 1,070

김창수

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10%

논문수 42 이용수 3,155

정양수

소속기관 충남대학교

주요연구분야 인문학 > 어문학 > 언어학 일반 자연과학 > 물리학

논문수 28 이용수 1,080

육영진

소속기관 웅진에너지

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학

논문수 4 이용수 429

이송희

소속기관 웅진에너지

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학

논문수 2 이용수 310

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고분해능 XRD를 이용한 solar wafer의 결정성 및 잔류응력 분석

정인영 , 전현구 , 최민혁 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2014 .08

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