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저자정보
박광열 (한국광기술원) 김채원 (한국광기술원) 김효진 (한국광기술원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제59회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2020.8
수록면
247 - 247 (1page)

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