Chemically amplified resists based on norbornene polymer with non-ourgassing acid labile group

이재준; 이관구; 김진백

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이재준 이관구 김진백

저널정보: 한국고분자학회 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 한국고분자학회 2000년도 추계학술대회 연구논문 초록집

발행연도: 2000.10

수록면: 300 - 300 (1page)

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