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한국신재생에너지학회 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 한국신재생에너지학회 2009년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.11
수록면
349 - 349 (1page)

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High quality ZnO:Al films were prepared on glass substrates by in-line RF magnetron sputtering and their surface morphologies were modified by wet-etching process in dilute acid solution to improve optical properties for application to silicon thin film solar cells as front electrode. The as-deposited films show a strong preferred orientation in [001] direction under our experimental conditions. A low resistivity below 5{times}10^{-4}{Omega}{cdot}cm and high optical transmittance above 80% in a visible range are achieved in the films deposited at op ... 전체 초록 보기
#산화아연 박막 #실리콘 박막 태양전지 #산란도 #표면형상 #ZnO:Al film #Silicon thin film solar cell #Haze #Surface morphology

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