반도체 공정에서의 제조 원가 분석 모델

한주윤 ,  정봉주

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2001 .11

반도체 검사 장비의 진동 분석

임경화 ,  안채헌 ,  오정배 외 2명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2008 .04

반도체 제조공정을 위한 새로운 생산일정 알고리즘

복진광 ,  이승권 ,  문성득 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

1998 .12

반도체 공정에서의 환경친화형 프로세스

정해도 ,  김호윤

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2001 .09

반도체 생산공정에서의 미립자 측정 및 분석 기술 ( Particle Measurement and Analysis in Semiconductor Manufacturing Process )

채승기

대한기계학회지

1995 .05

전달행렬법을 이용하여 지반진동을 받는 반도체 장비의 진동해석

조찬우 ,  이정우 ,  마정범 외 1명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2018 .04

반도체 제조공정의 효율적 생산관리를 위한 시뮬레이터 개발

이영해 ,  정황근

산업공학 (IE interfaces)

1995 .11

반도체 공장에서의 종합품질경영

이상복 ,  황영헌 ,  강석호

산업공학 (IE interfaces)

1997 .03

반도체 디바이스 제조 공정에서의 전기화학적 현상

황응림

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

전자빔 기술을 이용한 반도체 공정의 삼불화질소(NF₃) 분해

류재용 ,  최창용 ,  김종범 외 4명

대한환경공학회지

2012 .06

반도체 수율 향상을 위한 통계적 공정제어에 전문가시스템의 적용에 관한 연구 ( Applying an Expert System to Statistical Process Control in Semiconductor Manufacturing )

윤건상 ,  최문규 ,  김훈모

대한기계학회 춘추학술대회

1997 .01

유전알고리즘을 이용한 반도체 후공정 라인의 동적 스케쥴링

장석호 ,  최동학 ,  김문호 외 1명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

1998 .10

고집적 반도체공장의 미진동 제어를 위한 구조물의 동적 설계에 관한 연구

이홍기 ,  박재호 ,  박해동 외 1명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

1999 .06

Particle Measurement and Control in Semiconductor Manufacturing

R. P. Donovan

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1990 .09

반도체 산업에서의 납기관리 시스템 구축

박태규 ,  이영훈 ,  이상혁 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

1995 .10

초순수의 오염과 반도체 제조에 미치는 영향에 대한 연구 ( A Study on the Contamination of D. I. Water and its Effect on Semiconductor Device Manufacturing )

김흥식 ,  유형원 ,  윤철 외 2명

전자공학회논문지-A

1993 .11