Particle Measurement and Control in Semiconductor Manufacturing

R. P. Donovan

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1990 .09

반도체 제조공정을 위한 새로운 생산일정 알고리즘

복진광 ,  이승권 ,  문성득 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

1998 .12

반도체 공정에서의 제조 원가 분석 모델

한주윤 ,  정봉주

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2001 .11

반도체 제조공정의 효율적 생산관리를 위한 시뮬레이터 개발

이영해 ,  정황근

산업공학 (IE interfaces)

1995 .11

반도체 공정에서의 환경친화형 프로세스

정해도 ,  김호윤

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2001 .09

부유미립자의 측정기술

김광영

냉동공조기술

1991 .01

차세대 반도체/디스플레이 공정을 위한 정밀 형상 측정

진종한

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

반도체 공정용 3 자유도 미진동 해석

김형태 ,  김철호 ,  이강원 외 1명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2010 .10

반도체 Probe 공정에서의 생산 능력 계획

정봉주 ,  이영훈

산업공학 (IE interfaces)

1997 .03

반도체 Probe 공정에서의 생산능력계획

정봉주 ,  이영훈

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

1996 .10

부유미립자의 측정법

김신도

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1986 .05

전자빔 기술을 이용한 반도체 공정의 삼불화질소(NF₃) 분해

류재용 ,  최창용 ,  김종범 외 4명

대한환경공학회지

2012 .06

분산중합에 의한 Poly (St/BA, 75/25 wt%) 미립자 제조와 응용

서형주 ,  이기창

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1998 .10

반도체 생산물류 시뮬레이터 개발에 관한 연구

조한민 ,  박종관 ,  이윤준 외 1명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

1998 .04

반도체 디바이스 제조 공정에서의 전기화학적 현상

황응림

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

반도체 수율 향상을 위한 통계적 공정제어에 전문가시스템의 적용에 관한 연구 ( Applying an Expert System to Statistical Process Control in Semiconductor Manufacturing )

윤건상 ,  최문규 ,  김훈모

대한기계학회 춘추학술대회

1997 .01

차세대 초정밀미립자 신기술 연구단

김중현

고분자 과학과 기술

2006 .06

분산된 p 형 및 n 형 반도체 입자의 도핑 효과와 반도체 동작 ( Doping Effects and Semiconductor Behaviors of the Dispersed p - and n - type Semiconductor Particles )

천장호 ,  손광철 ,  나극환 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .05