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이용수
1999
ABSTRACT
1. 서론
2. 진동제어 절차서의 확립
3. 기가 디램급 반도체공장의 동적구조설계
3. 고찰 및 결론
참고문헌
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준 경험기법을 이용한 고집적 반도체공장의 미진동 제어를 위한 구조물의 동적설계에 관한 연구
소음·진동
1999 .12
반도체공장에서 미진동제어를 위한 격자보의 동적 설계에 관한 연구
한국소음진동공학회 학술대회논문집
1994 .11
동적 구조물의 구조변화에 의한 진동해석 연구 ( A Study of Vibration Analysis due to Structural Changes of Dynamic Structure )
대한기계학회 논문집
1992 .11
Semi-Empirical Method를 이용한 구조물의 동적 응답 예측에 관한 연구
한국소음진동공학회 학술대회논문집
1999 .11
준 경험적 방법을 이용한 충격성 진동에 대한 구조물의 동적 응답의 예측
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2000 .01
극 초정밀 측정시스템의 미진동제어를 위한 구조물의 동적 설계에 관한 연구
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2001 .06
구조물의 진동제어 시스템
한국공간구조학회지
2010 .01
반도체 공정용 3 자유도 미진동 해석
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2010 .10
Design of Semi-Active Tendon for Vibration Control of Large Structures
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2000 .11
준 경험적 방법에 의한 발파진동원의 특성과 구조물 동적 해석에 관한 연구
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2001 .06
반도체공장을 위한 팬필터유닛용 시스템 설계
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .07
반도체 검사 장비의 진동 분석
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2008 .04
진동제어 콘크리트 보의 동적실험
대한토목학회 학술발표회 논문집
1996 .11
반도체 장비의 미세진동제어를 위한 MR 댐퍼의 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
강화학습을 이용한 구조물의 진동 제어
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2010 .10
반도체 제조공장에 있어서의 정밀제진
소음·진동
1994 .03
예측 제어기법을 이용한 기계구조물의 능동 진동제어
한국소음진동공학회 학술대회논문집
1991 .11
반도체 초정밀장비의 진동허용규제치를 고려한 지지구조의 동특성 개선에 관한 연구
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2003 .01
공장건물의 진동제어
소음·진동
1999 .04
마이크로 공장을 위한 디지털 생산 시뮬레이션
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2005 .05
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