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성민상 (인하대학교) 최승복 (인하대학교) 김철호 (한국생산기술연구원) 이홍기 (RMS Technology) 백재호 (RMS Technology) 한현희 (RMS Technology)
저널정보
한국소음진동공학회 한국소음진동공학회 학술대회논문집 한국소음진동공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2010.10
수록면
65 - 70 (6page)

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This paper presents experimental performance evaluation of a magnetorheological (MR) damper for integrated isolation mount for ultra-precision manufacturing system. The vibration sources of the ultra-precision manufacturing system can be classified as follows: the one is the environmental vibration from the floor and the other is the transient vibration occurred from stage moving. The transient vibration occurred from the stage moving has serious adverse effect to the process because the vibration scale is quite larger than other vibrations. Therefore in this research, a semi-active MR damper, which can control the transient vibration, is adopted. Also the stage needs to be isolated from tiny vibrations from the floor. For this purpose, a dryfrictionless MR damper is required. In order to achieve this goal, a novel type of MR damper is originally designed and manufactured in this work. Subsequently, the damping force characteristics of MR damper are evaluated by simulation and experiment. In addition, the vibration control performance of the MR damper associated with the stage mass is evaluated.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 통합제진마운트
3. MR 댐퍼
4. 댐핑력 평가
5. 진동 제어
6. 결론
참고문헌

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