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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제19권 제8호
발행연도
2009.8
수록면
838 - 842 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

CAE를 이용한 Visual Alignment System의 진동해석 연구
이승윤 ,  김성래 ,  정재일 외 1명 한국소음진동공학회논문집 2009.08 학술저널
CAE를 이용한 Visual Alignment System 의 진동해석 연구
이승윤 ,  김성래 ,  정재일 외 1명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2009.04 학술대회자료

초록· 키워드

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Vibrational analysis is presented for a visual alignment system of nano-imprint process in this study. For a nano-imprinting equipment, the visual alignment system is one of the essential parts in order to align the mold into the target panel. For the precision alignment, the vibration from inside and outside of the vision system should be avoided, and the elimination of the vibration should be considered in the design process of the visual alignment design. In this work, vibrational characteristics for the vision system frame is analyzed and topology optimization of a frame section area is carried out. With the results of the analysis, a new frame design are suggested. Design consideration for constructing a visual alignment system in view of optimal design is also discussed.
#고유진동 #미세 진동 #비주얼 얼라인먼트 시스템 #위상 최적화 #Micro Frequency #Natural Frequency #Topology Optimization #Visual Alignment System

목차

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참고문헌 (4)

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1. [학술대회논문] - Kang, M. S. / 2006 / Structural Analysis and Multi-body Kinematic and Dynamic Analysis of a Nano-imprinting Machine Using CAE Method / Proceedings of the KSME Annual Autumn Conference : 23 ~ google schola 2. [학술대회논문] - Lee, J. S. / 2008 / A Study on the Improvement of Vibration Analysis of Machine Vision System Using CAE Method / Proceedings of the KSME Annual Spring Conference : 137 ~ 142 google schola 3. [학술대회논문] - Kim, S. R. / 2008 / Optimal Design for Frame Shape of Machine Vision System Using CAE / Proceedings of the KSNVE Annual Autumn Conferece : 54 ~ 55 google schola 4. [학위논문] - Park, C. S. / 2007 / Development of a Geometric Pattern Matching Algorithm for Visual Alignment System / 석사 / The Graduate School of Korea Aerospace University google schola

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