메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
민관홍 (청주대학교) 유정재 (청주대학교) 정상현 (청주대학교) 연제민 (청주대학교) 김광호 (청주대학교)
저널정보
한국정보기술학회 한국정보기술학회논문지 한국정보기술학회논문지 제12권 제3호(JKIIT, Vol.12, No.3)
발행연도
2014.3
수록면
9 - 14 (6page)
DOI
10.14801/kiitr.2014.12.3.9

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
본 연구는 태양전지에 적용시키기 위하여 p-Si(100) 기판위에 a-Si(n<SUP>+</SUP>)박막을 증착한 이종접합 a-Si(n+)/p-Si(100)구조에 있어서 a-Si(n+)박막 Ohmic 특성을 평가하였다. a-Si(n<SUP>+</SUP>)박막은 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 Si(n+, 0.001-0.005Ω·cm, dopant; As)타겟을 스퍼터링하여 증착하였다. 증착된 a-Si(n+)박막의 특성평가를 위해 석영(Quartz)기판 위에 증착하여 4-point probe로 전기적 특성을 평가하였고, XRD(X-Ray Diffraction)로 구조적 특성을 평가 하였다. a-Si(n<SUP>+</SUP>)박막 Ohmic 특성을 평가하기 위한 TLM(Transmission Line Model) 패턴의 전극을 형성시켜 금속과 실리콘 계면의 접촉저항을 개선시키기 위한 타이실리사이드(TiSiX)를 형성하였다. TLM법 패턴 제작을 위해 a-Si(n+)/p-Si(100) 구조위에 Ag/TiSiX층을 제작하였으며, 전극 Ag/TiSiX의 열처리 온도(800-950℃) 및 시간(2-10sec)에 따른 특성변화를 관찰하여 4-point probe로 특성을 평가하였고, pA meter(HP 4140B)를 이용하여 이종접합 a-Si(n<SUP>+</SUP>)/p-Si(100)구조의 a-Si(n<SUP>+</SUP>)박막 Ohmic 특성을 측정하였다.
#amorphous #a-Si #heterojunction #ohmic contact #TLM pattern

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 실험 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
References

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
S. M. Sze / 1981 / Physics of Semiconductor Devices / Wiley inter science :122~132 google schola H. G Yun / 2005 / Design and Implementation of power GaAs Diode / Journal of Korean Institute of Information Technology 3(6):75~84 google schola 김신자 / 2008 / 모드록킹된 1.3μm Nd:YAG 초단펄스 레이저 / 한국정보기술학회논문지 6(1):143~148 dbpia C. S. Kim / 1998 / A Study on the principle and application of heterojunction / Mokpo national maritime university 6(1):224~231 google schola 최성재 / 2008 / 갈륨나이트라이드기반 발광다이오드의 정전기방전 피해 방지에 대한 연구 / 한국인터넷방송통신학회 논문지 8(6):35~40 dbpia

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

2 차원 광결정 구조를 적용한 GaN LED 의 광추출 효율 향상
채동주 ,  김동호 ,  김수진 외 5명 한국통신학회 기타 간행물 2009 .12
절연 제한층을 이용한 LED의 광출력 개선
이승연 ,  류장열 ,  윤석범 한국정보기술학회논문지 2011 .05
TLM 및 CTLM 을 이용한 실리콘 태양전지 전면전극소재의 접촉 비저항 측정 비교연구
신동윤 ,  김유리 대한기계학회 논문집 B권 2014 .06
ITO 박막의 DC 마그네트론 스퍼터링 진공 증착
허창우 한국정보통신학회논문지 2010 .04
결정질 실리콘 태양전지를 위한 실리콘 질화막의 특성
박제준 ,  김진국 ,  송희은 외 3명 한국태양에너지학회 논문집 2013 .04

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0