플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향

김정호 ,  이석현 ,  신기수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향 ( Effects of Plasma Etching Parameter on Gate Oxide Damage during Plasma Etching )

김종호 ,  이석현 ,  신기수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

플라즈마 에칭

정재국 ,  정기형

전기의세계

1993 .10

Generation of a Pulse Plasma and its Application to Polysilicon Etching

정찬욱 ,  K. K. Chi ,  Y. B. Koh 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

The Effects of Image Charge in the Etching of Gate Polysilicon

신화숙 ,  지경구 ,  정찬욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

선택적 에피택시를 위한 에피택셜층 및 폴리실리콘의 성장과 에칭 ( Growth and Etching of Epitaxial Layer and Polysilicon for the Selective Epitaxy )

조경익 ,  김창수 ,  정호선 외 1명

전자공학회지

1985 .01

Metal Plasma-Etching Damages of NMOSFETs with Pure and N₂O Gate Oxides

Jae-Seog Yoon ,  Chang-Wu Hu

한국정보통신학회논문지

1999 .06

플라즈마 산화막을 이용한 이중 금속 배선 공정 ( Double-layer Metal Process using Plasma-Oxide )

김흥식 ,  오상식 ,  이진효 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1982 .01

플라즈마 에칭 기법으로 제작된 세포외 기질이 포함된 폴리카프로락톤 섬유의 나노 패턴이 세포활동에 끼치는 영향

여미지 ,  전호준 ,  안승현 외 5명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

플라즈마 식각 공정이 N2O 산화막과 순수한 산화막을 갖는 MOS 소자 특성에 미치는 영향에 관한 연구 ( A Study on the Effect of Plasma Etching Process on the Characteristics of MOS Devices with N2O and Pure Gate Oxides )

윤재석 ,  이상돈 ,  김봉렬

전자공학회논문지-A

1996 .09

Two Layer Gate Insulator with ECR Plasma Thermal Oxide / LPCVD Oxide for High Performance Polysilicon Thin Film Transistor

Jung Yeal Lee ,  Sung Hun Lee ,  Chul Hi Han 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

A Morphological Study of the Etched Surface of Aluminum

문성모 ,  정용수

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

디지털 합금방법으로 성장한 Al_xGa₁-_xA층의 균일한 산화

최양화 ,  장기수 ,  이용탁

한국통신학회 기타 간행물

2004 .11

인 도핑 다결정 실리콘 산화막의 전기적 특성에 관한 연구 ( A Study on the Electrical Characteristics of Oxide Grown from Phosphorous-Doped Polysilicon )

윤형섭 ,  강상원 ,  박신종

전자공학회논문지

1986 .11

에칭 프로세스를 위한 SF₆/O₂ 플라즈마 특성에 관한연구

하장호 ,  전용우 ,  신용철 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

폴리실리콘-산화막 구조의 표면요철에 의한 절연파괴전계 저하에 관한 고찰

이승환 ,  이계신 ,  김성진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

폴리실리콘-산화막 구조의 표면요철에 의한 절연파괴전계 저하에 관한 고찰 ( Lowering of the Breakdown Field by Asperities on the Polysilicon Surface in Polysilicon-Oxide Structure )

이승환 ,  이계신 ,  김성진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

Effect of Micro Casting and Plasma-etching on Polycaprolactone Film for Bone

이재윤 ,  양지훈 ,  김근형

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

Polysilicon TFT의 파라미터 추출 ( Parameter Extraction for the Polysilicon Thin Film Transistors )

한승엽 ,  조영호 ,  최연익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11