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대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2013 .05
PECVD Chamber Cleaning End Point Detection (EPD)Using Optical Emission Spectroscopy Data
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2013 .01
철강 시료 청정도 평가를 위한 자동화 시스템
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2010 .05
OES 정보와 신경망을 이용한 플라즈마 식각률 비균일도의 모델링
대한전기학회 학술대회 논문집
2007 .10
Quantitative Analysis for Plasma Etch Modeling Using Optical Emission Spectroscopy : Prediction of Plasma Etch Responses
Industrial Engineering & Management Systems
2015 .12
Actinometric Investigation of In-Situ Optical Emission Spectroscopy Data in SiO2 Plasma Etch
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2012 .01
OES 센서 데이터를 이용한 반도체 설비 건강 진단 및 예측
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2015 .04
Time-Resolved OES on 3D Integrated Micro-Solution Plasma Using He Gas
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
실시간 플라즈마공정 모니터링을 위한 Self Plasma-Optical Emission Spectroscopy 성능 향상
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
OES를 이용한 질화막/산화막의 식각 스펙트럼 데이터 분석
전기전자재료학회논문지
2012 .01
OES 정보와 신경망을 이용한 플라즈마 식각률 비균일도의 모델링
대한전기학회 학술대회 논문집
2007 .10
주성분분석과 서포트 벡터 머신을 결합한 플라즈마 식각 종료점 검출 방법
대한전자공학회 학술대회
2011 .06
회원사 탐방: (주)오이솔루션
광산업정보
2011 .01
플라즈마 식각공정 시 By-product와 Etchant gas를 이용한 식각 종료점 검출
전기전자학회논문지
2015 .12
티오카바메이트 그룹을 함유하는 올레인산 에스테르계 내마모제의 합성
공업화학
2008 .01
Transcriptional regulatory network during development in the olfactory epithelium
BMB Reports
2015 .01
A Diagnostic technique for Process Chamber Wall Condition Using Optical Emission Spectroscopy
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2013 .05
Time-Resolved OES Study of A Single-Bubble Plasma Generated in A Capillary Tube
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
Spatially Resolved Optical Emission Spectroscopy of Pulse Magnetron Sputtering Discharge
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .10
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