메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제25권 제5호
발행연도
2012.1
수록면
353 - 360 (8page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
Low Open area에 따른 식각공정의 최적 조건을 얻기 위해서는 다양한 변수에 대한 실험을 여러 번 수행해야 한다. 이로 인한 시간 및 비용부담을 줄이기 위해 엔지니어들은 쿠폰 테스트를 통해 식각 조건을 근접하게 얻는 방법을 이용한다. 본 논문에서는 Low open area인 쿠폰웨이퍼를 이용한 식각공정을 Optical Emission Spectroscopy(OES)로 실시간 모니터링할 경우, 쿠폰 웨이퍼를 포토레지스트(photoresist)가 코팅된 캐리어 웨이퍼(carrier wafer)에 부착하여 실험하는 경우와 캐리어 웨이퍼 없이 척(chuck)에 올려놓고 식각하는 경우, 두 가지의 데이터를 비교, 분석하였다. 실험 결과, carrier wafer가 없는 실험군에서 overetching이 발생하였으며, OES 데이터는 byproduct 4개 중 2개가 다른 패턴을 보였다. 이러한 결과를 바탕으로 OES data의 데이터 전처리를 통한 공정 특성 분석에 대한 추가 연구가 필요하며, 이는 OES 데이터로 공정 모니터링 시 신뢰성을 결정하는데 영향을 미칠 것으로 기대한다.
#Optical emission spectroscopy #Coupon test #Data qualification

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
B. D. Pant / 1999 / / Plasma Chemistry and Plasma Processing 19 : 4 ~ google schola C. J. Mogab / 1978 / / Applied Physics 49 : 7 ~ google schola D. White / 2000 / / IEEE Trans. Semi. Manufac 13 : 2 ~ google schola G. Kang / 2009 / / Proc. 9th International Conference on Hybrid Intelligent Systems 1 google schola G. S. May / 2006 / Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control / John Wiley & Sons google schola

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0