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김덕준 (한국생산기술연구원) 남경태 (한국생산기술연구원) 지상훈 (한국생산기술연구원) 이상무 (한국생산기술연구원) 심준홍 (한국생산기술연구)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 2009년 한국자동제어학술회의
발행연도
2009.9
수록면
783 - 786 (4page)

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This paper presents modeling and control method for a dual stage actuator for high-precision manufacturing system. The dual stage system which is used for this paper has slightly different mechanical structure compared to the convention dual stage which is that piezoelectric micro actuator is inserted prior to the micro stepper motor and shares the same axis in order to improve straightness and rigidity of the system. DISO system is used for the dual-stage algorithm. Since two actuators are mutually operated, it is important to define the coupling dynamics. Coupling dynamics is defined by both theoretical and experimental methods which are defining the relationship between two actuators from Newton-Euler equation and comparing sine sweep experiment results respectively. Defined coupled dynamics is taken into account for the high-precision positioning. From the simulation results in MATLAB, designed dual-stage system yields improved and faster time response considering coupling effect with disturbance reject on.
#Dual-Stage #Coupling #Disturbance Rejection

목차

Abstract
1. 서론
2. 듀얼 스테이지의 모델링
3. 제어기 설계
4. 모의 실험 결과
5. 결론
후기
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