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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2009 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.5
수록면
20 - 25 (6page)

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High precision machining technology has become one of the important parts in the development of a precision machine. Such a machine requires high speed on a large workspace as well as high precision positioning. For machining systems having a long stroke with ultra precision, a dual-stage system including a global stage (coarse stage) and a micro stage (fine stage) is designed in this paper. Though linear motors have a long stroke and high precision feed drivers, they have some limitations for submicron positioning. Piezo-actuators with high precision also have severe disadvantage for the travel range, and the stroke is limited to a few microns. In the machining experiments, the single stage has an machining error of 2 micron, while the dual stage has only 0.3 micron error. Therefore, this technique can be applied to develop high precision positioning and machining in the micro manufacturing and machining system.
#Dual-stage #Micro stage #Milling machine #Piezo actuators #Linear motors

목차

Abstract
1. 서론
2. 듀얼 스테이지 밀링머신
3. 밀링머신 가공실험
4. 결론
참고문헌

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