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학술대회자료
저자정보
이승환 (울산대학교) 김현철 (울산대학교)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집 2009년 추계 합동 학술논문발표회 논문집
발행연도
2009.12
수록면
89 - 92 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

저압용 실리콘 압력센서의 내압 특성 향상에 관한 해석
이승환 ,  김현철 전자공학회논문지-SD 2011.03 학술저널

2009

저압용 실리콘 압력센서의 내압 특성 향상
이승환 ,  김현철 제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집 2009.12 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문에서는 저압용 압력센서를 구조적 변경을 통하여 최적의 조건을 찾아 설계하였다.
현대의 기술발전의 방향의 추세는 어떻게 하면 더 가볍고, 얇고, 작으면서 동시에 복합적인 기능을 수행하는 것이다. 실리콘(Si) 압력센서는 MP3나 스마트폰과 같이 가정용 제품에 사용되어 디지털 컨버젼스시대에 소비자에게 만족감을 주었다. 실리콘 압력센서의 용도가 넓어짐에 따라 다양한 환경에서 압력범위를 가지는 압력센서가 요구되었다. 압저항 압력센서의 다이어프램은 크기와 모양에 따라서 압력감도가 좌우될 수 있어, ANSYS를 이용하여 다이어프램의 구조적 변경에 따른 응력분포를 측정하여 저압용 압력센서를 최적화 하였다.

목차

요약
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결과
Ⅳ. 결론
참고문헌

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