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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이승환 (울산대학교) 김현철 (울산대학교)
저널정보
대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 電子工學會論文誌 第48卷 SD編 第3號
발행연도
2011.3
수록면
18 - 24 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

저압용 실리콘 압력센서의 내압 특성 향상에 관한 해석
이승환 ,  김현철 전자공학회논문지-SD 2011.03 학술저널

2009

저압용 실리콘 압력센서의 내압 특성 향상
이승환 ,  김현철 제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집 2009.12 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문에서는 double boss 구조의 저압용 압력 센서의 다이아프램 브리지 모서리에 홈을 형성함으로서 압력센서의 내압특성을 향상시킬 수 있음을 확인하였다. 저압용 실리콘 압력센서에서는 일반적으로 boss구조가 널리 사용되고 있으나 칩에서의 제한된 다이아프램의 사이즈와 두께로 인하여 좋은 감도를 얻을 수는 없다. 특히, double boss구조는 다이아프램의 브리지 모서리 응력이 크게 작용함에 따라서 크랙이 생겨 다이아프램의 파괴가 진행되어 센서의 감도는 우수하지만 동작영역의 범위가 줄어들어 신뢰성에 문제가 있다는 단점을 가진다. 기존 double boss구조 압력센서 다이아프램 브리지에 모서리 홈의 길이를 0.5~10㎛로 변화시키며 ANSYS 시뮬레이션을 시행하여 다이아프램 브리지 모서리와 브리지의 가장자리 그리고 압저항 소자가 위치하는 곳의 최대응력을 확인하였다. 그 결과 브리지 모서리의 길이가 6㎛이상인 경우, 브리지 모서리에서 발생하는 응력은 압저항 소자에 작용하는 응력보다 적다.
#저압용 실리콘 압력센서 #보스구조 다이아프램 #내압특성

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 압력센서의 원리 및 구조
Ⅲ. ANSYS 시뮬레이션
Ⅳ. 시뮬레이션 결과
Ⅴ. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 전국진 / 1993 / 압력센서의 원리 및 응용 / 대한기계학회지 33 (6) : 515 ~ 522 dbpia 2. [학술대회논문] - 최시영 / 1997 / 실리콘 압력 센서 / 한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집 : 545 ~ 550 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - M. Nishihara / 1981 / Recent semiconductor pressure sensors / Hitachi Rev. : 285 ~ google schola 4. [학술대회논문] - L. B. Willer / 1977 / A diffused silicon pressure transducer with stress concentration at transverse gauges / 23rd Int. Instrumentation Symp. google schola 5. [학술지(정기간행물)] - J. R. Mallon / 1982 / Low-Pressure Sensors Employing Bossed Diaphragms and Precision Etch-Stopping / Sensors & Actuator 2 : 275 ~ 282 google schola

이 논문의 저자 정보

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