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대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제40권 제2호
발행연도
2003.2
수록면
1 - 7 (7page)

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반도체형 압력센서를 이용하여 물이나 화학약품 매질의 압력을 측정하기 위해서는 센서를 보호하기 위한 패키징이 필요하다. 스테인레스 봉입형 압력센서는 SUS316으로 패키지 되어있으며 SUS316은 표면이 다량의 크롬과 니켈을 함유하고 있어 내부식성이 강하고, 또한 인성 및 용접성이 양호하여 센서를 분리하는 박막으로 널리 사용된다. 그렇지만 SUS316은 강산과 강알칼리 용매에서는 급격히 부식된다. 따라서 내부식성이 우수한 파리렌 막을 SUS316의 표면에 2000A의 Cu막을 증착한 다음에 5um 두께로 코팅 처리함으로써 내화학성이 우수한 압력센서를 제작할 수 있었다. 파리렌 막을 코팅하기 전에 봉입형 압력센서의 정확도는 ±0.5 %FSO이었고, 코팅 후의 센서도 동일한 특성을 보여주었다.

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