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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 제어로봇시스템학회 International Journal of Control, Automation, and Systems International Journal of Control, Automation, and Systems 제4권 제3호
- 발행연도
- 2006.6
- 수록면
- 372 - 381 (10page)
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목차
Abstract
1. INTRODUCTION
2. WAFER FABRICATION
3. DESIGN OF DATA MINING ROADMAP
4. APPLICATION OF DATA MINING TOOLS
5. EXPERIMENTAL RESULTS
5. CONCLUSIONS
REFERENCES
참고문헌 (19)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - / 2000.8 / A neural-network approach to recognize defect spatial pattern in semiconductor fabrication 13 (3) : 366 ~ 373
[학술지(정기간행물)] - / 2000. / In-line wafer inspection data warehouse for automated defect limited yield analysis : 124 ~ 129
[학술지(정기간행물)] - / 2001. / Defect detection on SOI wafers using laser scattering tools : 19 ~ 20
[학술지(정기간행물)] - / 2001. / Random defect limited yield using a deterministic model : 161 ~ 165
[학술지(정기간행물)] - / 2001.8 / Design of intelligent data sampling methodology based on data mining 17 (5) : 637 ~ 649
[학술지(정기간행물)] - / 2000. / In-line wafer inspection data warehouse for automated defect limited yield analysis : 124 ~ 129
[학술지(정기간행물)] - / 2001. / Defect detection on SOI wafers using laser scattering tools : 19 ~ 20
[학술지(정기간행물)] - / 2001. / Random defect limited yield using a deterministic model : 161 ~ 165
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