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김한형 (인하대학교) 양승국 (인하대학교) 유한석 (인하대학교) 이승용 (인하대학교) 오범환 (인하대학교) 이승걸 (인하대학교) 이일항 (인하대학교) 박세근 (인하대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2006년 하계종합학술대회
발행연도
2006.6
수록면
519 - 520 (2page)

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It has become topic continuously at MEMS or semiconductor process to form three-dimensional multilayer structure. In this paper, we devised the new polymer pattern method that has multilayer structure. This is method that uses different kind of polymeric material. Specially, polymers used in this study that we propose became all ... 전체 초록 보기

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