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이용수
Abstract
1. Introduction
2. Numerical Model
3. Simulation Results
4. Conclusions
References
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Simulation of Capacitively Coupled RF Plasma; Effect of Secondary Electron Emission - Formation of Electron Shock Wave
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1996 .11
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2012 .01
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고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수 특성에 관한 연구
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1998 .11
SF6가스의 전자에너지 분포함수에 관한 연구
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1996 .11
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2008 .06
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2006 .10
SF₆-He 혼합기체의 전리와 부착계수
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2005 .05
Numerical Calculation Study on the Generalized Electron Emission Phenomenon
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2009 .01
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2009 .04
The Effect of Electron-Electron Scattering on the Electron Transport in Submicron Device
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1997 .01
저압 수은 방전에서의 근사화한 충돌 단면적을 사용한 전자 에너지 분포함수 해석
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
1989 .11
정전 탐침법과 유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2016 .07
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