단일 합금타겟을 이용한 마크네트론 스퍼터링 공정으로 증착된 MoN-Cu 박막

이한찬 ,  문경일 ,  신백균

한국표면공학회지

2016 .08

Magnetron Sputtering 법을 이용한 Mo-Cu 박막의 특성

이한찬 ,  문경일 ,  이붕주 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

Deposition of nanocomposite MoN-Cu coatings by reactive magnetron sputtering with the alloying targets

Kyoung Il Moon ,  Han Chan Lee ,  Duck Hyeong Jung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

The properties of nanocomposite Al-Ti-X-N (X=Cu, Si) coating synthesized by magnetron sputtering process with single composite target

정덕형 ,  신승용 ,  문경일

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

PREPARATION OF HYDROXYAPATITE COATINGS USING R.F. MAGNETRON SPUTTERING

SATORU HOSOYA ,  YUKIHIRO SAKAMOTO ,  KAZUAKI HASHIMOTO 외 2명

한국표면공학회지

1999 .06

A Study on the standardize the characteristic evaluation of DC magnetron sputtered silver coatings for engineering purposes

Gobinda Gyawali ,  Jinhyuk Choi ,  Tae Kwan Lim 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

The ternary B-C-N coatings using a rf Magnetron sputtering technique

Da Woon Jeong ,  Doo-in Kim ,  Kwang Ho Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

High rate magnetron sputtering of thick Cr-based tribological coatings

Jin H. Bin ,  Kyung H. Nam ,  Jin-H. Boo 외 1명

한국표면공학회지

2001 .10

The properties of nanocomposite Ti-Al-V-N coating synthesized by magnetron sputtering process with single composite target

문경일 ,  이한찬 ,  윤혜원 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Low-pressure Ion Beam Assisted Magnetron Sputtering

Igo ,  Svadkovski ,  Eungsun Byon 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Magnetron sputtering을 이용한 Zu-Mg 박막의 합성 및 특성에 관한 연구

라정현 ,  이창민 ,  김범석 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

EFFECTS OF THE COPPER ADDITION ON PHYSICAL PARAMETERS OF MAGNETRON-SPUTTERED Al-1% SI-X% Cu FILMS

C. G. Ko ,  J. K. Kim ,  K. S. Cho

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 Cu₂ZnSnS₄박막 특성에 관한 연구

이재춘 ,  설재승 ,  남효덕 외 2명

한국표면공학회지

2002 .02

D.C. Magnetron Sputter를 이용한 (Ti, Al)N 피막의 조성 및 조직특성연구

최장현 ,  이상래

한국표면공학회지

1992 .11

Adhesion property of Cr, Al and Cu thin films deposited on polycarbonate by magnetron sputtering

Seung Chun Oh ,  Sung Dae Kim ,  Jung uk Shin 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

Cu 첨가가 Mo-Cu-N 코팅의 미세구조와 기계적 특성에 미치는 영향

김수빈 ,  윤혜원 ,  이한찬 외 2명

한국표면공학회지

2019 .08

D.C. Magnetron Sputter를 이용한(Ti, Al)N 피막의 고온산화특성

최장현 ,  이상래

한국표면공학회지

1992 .11

DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성

표재확 ,  연충규 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11