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MoN-Cu thin films were prepared to achieve appropriate properties of high hardness and low friction coefficient, which could be applied to automobile engine parts for reducing energy consumption as well as solving wear problems. Composite thin films of MoN-Cu have been deposited by various processes using multiple targets such as Mo and Cu. However, those deposition with multiple targets revealed demerits such as difficulties in exact control of composition and homogeneous deposition. This study is aiming for suggesting an appropriate process to solve those problems. A single alloying target of Mo-Cu (10 at%) was prepared by powder metallurgy methods of mechanical alloying (MA) and spar plasma sintering (SPS). Thin film of MoN-Cu was then deposited by magnetron sputtering using the single alloying target of Mo-Cu (10 at%). Properties of the resulting MoN-Cu thin film were examined and compared to those of MoN-Cu thin films prepared with double targets of Mo and Cu.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (17)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - Peng Song / 2009 / Preparation and characterization of Mo-15 Cu superfine powders by a gelatification-reduction process / J. Alloys. Compd 476 : 226 ~ 230
[학술지(정기간행물)] - Jian-Tao Yao / 2015 / Relationships between the properties and microstructure of Mo–Cu composites prepared by infiltrating copper into flame-sprayed porous Mo skeleton / Mater. Des 88 : 774 ~ 780
[학술지(정기간행물)] - V. de P. Martínez / 2007 / Mechanical alloying of Cu–Mo powder mixtures and thermodynamic study of solubility / Mater. Lett 61 : 929 ~ 933
[학술지(정기간행물)] - Dheepa Srinivasan / 2007 / Kirkendall porosity during thermal treatment of Mo–Cu nanomultilayers / J. Mater. Sci. Eng. A 459 : 145 ~ 150
[학술지(정기간행물)] - John L. Johnson / 2015 / Activated liquid phase sintering of W–Cu and Mo–Cu / Int J. Refract. Metals. Hard. Mater 53 : 80 ~ 86
[학술지(정기간행물)] - Jian-Tao Yao / 2015 / Relationships between the properties and microstructure of Mo–Cu composites prepared by infiltrating copper into flame-sprayed porous Mo skeleton / Mater. Des 88 : 774 ~ 780
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