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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.11
- 수록면
- 304 - 305 (2page)
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In this research, electroless copper electrolytes that are used in semi-conductor interconnects are studied. Varying the composition and the concentration of electrolytes, and also the anionic surfactant, the stability, reactivity, deposition rate, and leveling effect of the electrolytes are examined. After the composition of the VMS(virgin makeup solution) is determined, the electrolytes are improved by varying the additives in order to increase the electroless copper deposition rate depending on different diffusion barriers. With the elect ... 전체 초록 보기
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