부유 랑뮤어 탐침법에서 다양한 전압파형에 대한 고조파 전류 특성 연구

김영도; 김유신; 정진욱

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김영도 (한양대학교) 김유신 (한양대학교) 정진욱 (한양대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.2

수록면: 466 - 466 (1page)

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