량뮤어 프로브 진단 기술

이효창

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이효창 (한국표준과학연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제52회 동계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2017.2

수록면: 96 - 96 (1page)

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#량뮤어 프로브 #플라즈마 변수 #전자에너지분포

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이효창

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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