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랑뮤어 탐침 전류 측정의 하중효과(Load effect)
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
RF 플라즈마에서 왜곡된 랑뮤어 탐침 I-V곡선의 수치적 왜곡 제거 방법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
컷오프 탐침과 량뮤어 탐침을 이용한 Ar/CF4 유도결합 플라즈마 특성 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
랑뮤어 탐침에 의해 변형된 열플라즈마 특성에 관한 해석적 연구
Applied Science and Convergence Technology
2008 .05
컷오프 탐침과 랑뮤어 탐침을 이용한 자화유도결합플라즈마 특성 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
량뮤어 프로브 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
대전력 펄스 플라즈마 내에서 정전 탐침을 이용한 시변동 플라즈마 변수 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
정전 탐침을 이용한 산소 플라즈마의 음이온 발생 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
다중 전원을 이용한 듀얼 랑뮤어 프루브 시스템을 통한 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
부유 랑뮤어 탐침법에서 다양한 전압파형에 대한 고조파 전류 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
RF 펄스 플라즈마에서 cutoff 탐침을 이용한 전자밀도의 시간변화 측정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
축전기의 과도 현상을 이용한 부유형 단일탐침 플라즈마 진단법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
유도 결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 플라즈마 방전과 전자기장 시뮬레이션의 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
유도결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 전자기장 전산모사와 플라즈마 방전 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
전위 측정에 미치는 탐침의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
엔탈피 프로브 진단기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
시변환 쉬스 거동에 대한 탐침 전류 곡선의 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
연구 및 산업분야에서의 주사탐침현미경의 가능성
한국분석과학회 학술대회
2019 .11
전력 분배를 이용한 이중 유도코일 구조의 고균일도 플라즈마 발생장치
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
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