Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber

이철 ,  황혜주 ,  박상호 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Photoluminescence chracteristics of SiN_x thin film deposited by PECVD at low temperature

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Kyongmin Kim 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Electrical properties of HfO_xN_y thin films deposited by PECVD

J.-H. Pa ,  k ,  J.-S. Hyun 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Prevention of P-i Interface Contamination Using In-situ Plasma Process in Single-chamber VHF-PECVD Process for a-Si:H Solar Cells

Seung-Hee Han ,  Jun-Hong Jeon ,  Jin-Young Choi 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

A study for the hybrid low-k polymer thin films by PECVD and their electrical and mechanical properties

배인섭 ,  조상진 ,  부진효

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구

안경한 ,  설용건 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Synthesis and Characterization of Cyclohexene Polymer Thin Films by PECVD Method.

L-S. Bae ,  C. K. Jung ,  Y. S. Pa 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Synthesis and Characterization of Cyclohexene Polymer Thin Films by PECVD Method

I.-S. Bae ,  C. K. Jung ,  S. J. Cho 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis

Kanade Vinit ,  Hyeong-U Kim ,  Seokjun Hong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

PECVD 증착 변수와 in - situ IR cell 을 이용한 온도별 a - Si : H 의 특성 변화

강진규 ,  박영배 ,  이시우

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1997 .02

Study on Synthesis and Analysis of Organic-Inorganic Hybrid polymer Thin films by PECVD for Low-k materials

S.-J. Cho ,  I.-S. bae ,  J.-H. Boo

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature

Jeon G. HAN ,  Jun S. LEE ,  Bibhuti B. SAHU 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Analysis of the growth behavior of ultrathin Cu films by using in - situ impedance spectroscopy

박상윤 ,  S. F. Li ,  홍진표 외 2명

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2003 .02

Preparation and Characterization of DLC Films on Si - wafer using Organic Compounds by PECVD

Chun Min-Seung ,  Jong Gi Jee

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1996 .02

ORGANIC POLYMER THIN FILMS DEPOSITED ON SILICON AND COPPER BY PECVD METHOD AND CHARACTERIZATION OF THEIR ELECTROCHEMICAL AND OPTICAL PROPERTIES

I. S. Bae ,  S. H. Cho ,  Z. T. Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Transport Characteristics of Ultra - thin Cu Films Analyzed by in - situ ac Four - point Impedance Spectroscopy

박상윤 ,  현영훈 ,  이성준 외 2명

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2002 .02

Plasma parameters of the low dielectric constant SiOC(-H) thin films during the PECVD process

An Soo Jung ,  Chang Young Kim ,  R. Navamathavan 외 1명

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2008 .02

PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석

정재욱 ,  추성중 ,  박정호

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2011 .02

Low-Temperature Synthesis of Wafer Scale WS₂ by PECVD

Kanade Vinit ,  김형우 ,  박근상 외 1명

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2019 .02