Synthesis and Characterization of Cyclohexene Polymer Thin Films by PECVD Method

I.-S. Bae ,  C. K. Jung ,  S. J. Cho 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Study on Synthesis and Analysis of Organic-Inorganic Hybrid polymer Thin films by PECVD for Low-k materials

S.-J. Cho ,  I.-S. bae ,  J.-H. Boo

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Electrical properties of HfO_xN_y thin films deposited by PECVD

J.-H. Pa ,  k ,  J.-S. Hyun 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

A study for the hybrid low-k polymer thin films by PECVD and their electrical and mechanical properties

배인섭 ,  조상진 ,  부진효

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

ORGANIC POLYMER THIN FILMS DEPOSITED ON SILICON AND COPPER BY PECVD METHOD AND CHARACTERIZATION OF THEIR ELECTROCHEMICAL AND OPTICAL PROPERTIES

I. S. Bae ,  S. H. Cho ,  Z. T. Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Photoluminescence chracteristics of SiN_x thin film deposited by PECVD at low temperature

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Kyongmin Kim 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis

Kanade Vinit ,  Hyeong-U Kim ,  Seokjun Hong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Low-Temperature Synthesis of Wafer Scale WS₂ by PECVD

Kanade Vinit ,  김형우 ,  박근상 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .02

Characterization of In-Situ Film Thickness and Chamber Condition of Low-K PECVD Process with Impedance Analysis

Daekyoung Kim ,  Haegyu Jang ,  Yongtae Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구

안경한 ,  설용건 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Preparation and Characterization of DLC Films on Si - wafer using Organic Compounds by PECVD

Chun Min-Seung ,  Jong Gi Jee

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Investigate Electronic Property of N-doped Plasma-Polymer Thin Films for Applied Biosensors

서현진 ,  황기환 ,  남상훈 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석

정재욱 ,  추성중 ,  박정호

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber

이철 ,  황혜주 ,  박상호 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Synthesis of SiNx:H films in PECVD using RF/UHF hybrid sources

K. S. Shin ,  B. B. Sahu ,  J. S. Lee 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Characterization of microcrystalline silicon thin films prepared by a layer - by - layer technique with a PECVD system

C. O. Kim ,  T. U. Nahm ,  J. P. Hong

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1999 .10

PECVD BPSG Film 형성 및 Flow 특성

심승술 ,  임국진

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

A Study on the Characteristics of Ammonia Doped Plasma Polymer Thin Film with a Controlled Plasma Power

서현진 ,  황기환 ,  주동우 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Low temperature synthesis of carbon nanotubes using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD)

윤형주 ,  강호석 ,  홍진표 외 1명

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2001 .02