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새로운 Copper 전구체를 이용한 구리점 증착
Applied Science and Convergence Technology
2006 .09
첨단 재료를 위한 새로운 금속 전구체 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
화학증착공정용 전구체의 분해도 평가 및 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
다양한 가스를 이용한 유도 결합 플라즈마에서 E-H mode 전이 현상
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
운반기체와 Ligand의 첨가가 MOCVD Cu 증착에 미치는 영향에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2000 .09
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
액상 Cu(Ⅱ) 전구체의 개발 및 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
오존에 의한 전구체와 혼입제의 화학적 활성화
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
Adsorption and Chemical Reaction of Cu(hfac)(vtms) on Clean and Modified Cu(111) Surface
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
열처리에 의한 Bi 및 Te 전구체의 기상변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
RGA를 이용한 CVD전구체의 분석 및 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
젯 어레이 형 대기압 플라즈마의 처리 방식이 자궁경부암 세포에 미치는 영향 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
저온 대기압 플라즈마 발생 및 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
냉음극 변압기 플라즈마와 액체 소스를 이용한 p-SiO2 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
Cu MOCVD 공정에서 전구체들의 기상반응 메카니즘과 증착 속도에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
동아시아 지역 내 황사 기간 중 황산염, 질산염 전구체에 대한 반응 계수 고찰
한국기상학회 학술대회 논문집
2005 .10
벙지기술(가스)
한국대기환경학회 학술대회논문집
2002 .04
수송가스 도움 전구체 공급 장치를 이용한 ZrO₂ 박막의 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단방법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
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