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Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
플라즈마 인자가 유기실리콘 박막 증착에 미치는 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
스퍼터링 방식에 의해 증착되어진 나노결정 탄소박막의 특성 및 유기박막트랜지스터에 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
진공증착법을 이용한 최적의 압전성 유기 박막의 제조와 스위치 특성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1999 .08
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
유기소자의 Encapsulation 박막으로 사용된 원자층 및 분자층 증착 Al₂O₃/Alucone 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
In₂O₃ 박막위에 증착된 초박막 Co 촉매가 NO의 감도에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
Platinum 유기착화합물을 이용한 금속박막의 증착에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
최근의 투명 박막증착기술의 동향
포장계
1999 .01
유기 EL 소자용 ITO 박막의 Sputtering법에 의한 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
E- beam 증착법으로 증착된 Sn/In 박막의 전기적/광학적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
유기금속화학증착법에 의한 Si기판상의 ZnO박막의 성장 및 구조적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
p - Xylene precursor를 사용한 low k 유기박막의 PECVD 증착 및 전기적특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
진공증착법을 이용한 최적의 압전성 유기 박막의 제조와 스위치 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
LPCVD를 이용한 Poly-Si박막 증착 및 박막 트랜지스터 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
윤활박막이 증착된 다이아몬드 박막의 트리보 거동
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
단일 선구 물질의 금속 유기물 화학 증착에 의한 갈륨산리튬 박막의 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
In-line 시스템 방식의 대기압 플라즈마 증착 장비를 이용한 HMDS/O₂조성에 따른 SiO₂ 박막 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
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