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단일 선구 물질에 의한 BeAl₂O₄ 박막의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
유기물 자동 공급 시스템을 이용한 유기 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
빔의 안정성이 향상된 갈륨을 이용한 액체금속이온원의 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
단일 선구 물질을 이용한 탄화규소 막의 적층 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
유기금속화학증착법에 의한 Si기판상의 ZnO박막의 성장 및 구조적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
새로운 Al 선구 물질을 이용한 Al₂O₃박막의 ALD 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
화학증착 및 원자층화학증착 표면화학 : 박막증착 관련 화학전구체의 Si(100), GaSb(100) 표면반응 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
스퍼터링에 의한 금속 나노박막 증착에서 광학적 특성을 이용한 in - situ 박막 두께 측정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
유기금속화합물을 이용한 원자층단위 증착에 의한 금속확산 방지층의 증착특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
이온빔 증착에 의한 DLC 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
단일 원료를 이용한 MgO의 화학 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
단일 이온 빔 증착법을 이용한 MgF₂ 및 ZrO₂박막의 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
유기금속화학증착법에 의하여 실리콘 기판위에 성장된 양질의 GaP 형성기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
질화규소 삽입층을 이용한 a면 질화갈륨 박막의 깊은 준위 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
박막제조 기술의 동향과 전망
한국자기학회지
2011 .10
이온빔 보조 증착으로 제조된 카본 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
In₂O₃ 박막위에 증착된 초박막 Co 촉매가 NO의 감도에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
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