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rf-magnetron sputter 증착기술을 이용한 태양전지용 p형 비정질 실리콘 박막의 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
RF 스퍼터링법을 이용한 리튬 이차 전지용 Si-Al 적층 음극 박막의 제조 및 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn2+의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba0.5Sr0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
DC/RF Magnetron Co-Sputter를 이용하여 성막한 유기 태양 전지용 Si-Doped In₂O₃ (ISO) 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
RF - magnetron sputtering 방법으로 형성된 RuO₂ 박막의 전기적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
RF magnetron sputtering으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Rf magnetron sputtered Co79Cr₂₁ 박막의 자기이방성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1991 .05
RF-Magnetron Sputtering System을 이용한 Bi-layer PZT박막제작과 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Study on ZnS Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
RF Magnetron Sputtering법으로 제작된 비정질 산화물 반도체 IGZO 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
RF magnetron sputtering에 의해 증착된 SnOx 박막의 전기화학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
RF Magnetron Sputtering을 이용한 Ba0.5Sr0.5Tio₃ 박막 커패시터의 제작과 전기적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
Study on Optical and Electrical Properties of IGZO Thin Film According to RF Power Fabricated by RF Magnetron Sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
N₂ 분위기에서 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 제작된 TiAlNX박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
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