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Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba0.5Sr0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
RF Magnetron Sputtering을 이용한 Ba0.5Sr0.5TiO₃ 박막 커패시터의 제작과 전기적 특성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2002 .04
RF 스퍼터링 방법으로 증착된 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 유전 및 초전특성에 대한 (Ba+Sr) / Ti 조성비의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
RF Magnetron Sputtering 방법으로 증착한 TiO2 / WO3 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
(Ba,Sr)TiO₃ 박막의 전기적 성질과 전도기구 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
RF magnetron sputtering으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
RF-Magnetron Sputtering System을 이용한 Bi-layer PZT박막제작과 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
RF - magnetron sputtering 방법으로 형성된 RuO₂ 박막의 전기적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
(Ba,Sr)TiO₃ 박막의 전기적 성질과 누설전류 전도기구
Applied Science and Convergence Technology
2000 .09
작업 가스비에 따른 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 유전특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
N₂ 분위기에서 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 제작된 TiAlNX박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Ar / O₂ 가스비에 따른 (Ba,Sr)TiO₃ 박막의 유전특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
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