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극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마에서 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장에 관한 전자 가열 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
간격이 조절된 갭 전극을 이용한 전기화학적 신호증폭 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
이중 주파수(Dual Frequency)를 이용한 유도결합 플라즈마 소스의 방전 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
고주파 플라즈마 발생장지 제작 및 플라즈마 광 방출 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
비대칭 전극 구조를 갖는 용량성 결합 플라즈마에서의 방전 특성과 전력 소비 모드 전이에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
유기 실리콘 시료를 이용하는 유도결합형 플라즈마 산화막 증착장치에서의 플라즈마 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
유도 결합 플라즈마에서 시스템의 소비 전력 측정 방법에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
이중 주파수를 이용한 유도 결합형 플라즈마의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
유도 결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마변수 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
유도 결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마변수 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
유도 결합 플라즈마에서 E-H 모드 전이에 관한 연구 및 전자 에너지 분포 함수의 주파수 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
유도 결합 플라즈마에서의 안테나 권선 수에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
대기압 플라즈마 제트 전극 구조에 따른 방전 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
대면적/고주파 축전결합 플라즈마에서의 플라즈마 불균일 현상 및 이의 극복
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
평판형 유도 결합 플라즈마에서 축방향 외부 자장이 용량 결합 성분에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
주파수 위상차 제어를 통한 증착 및 식각공정에서의 Non-Uniformity 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
전극손상이 고려된 자유연소아크 열플라즈마 특성에 관한 수치해석적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
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