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플라즈마 증착 및 식각공정의 전산모사
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
플라즈마 방식으로 증착 된 산화 막의 굴절률 계수와 후속 식각공정의 연관성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
증착공정에서 산소유량 제어에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
플라즈마 식각공정에서 Radial Basis Function Neural Network Model를 이용한 식각 종료점 검출
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각기술을 이용한 TiN/HfO2 layer gate stack structure의 저 손상 식각공정 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
플라즈마 식각 공정 챔버내의 부품 식각률 감소를 위한 전처리 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
ICP 식각 공정에서의 컨택홀의 기울어진 식각 프로파일
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
SiO₂ 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam 식각 system에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
이온빔 식각을 통한 저마찰용 표면 구조 제어 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
식각공정 안정화를 위한 내플라즈마성 코팅부품의 신뢰성 평가방법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
건식식각공정물성데이터베이스의 생산전략
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
확장형 히든마코브모델을 이용한 산화막 플라즈마 식각공정의 식각종료점 검출방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
증착공정에서 발생하는 플라즈마의 실시간 측정과 증착박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
유체 시뮬레이션을 이용한 미세 식각 구조물 하부 공정 부산물의 배기 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Low angle forward reflection 중성빔 식각 장비를 이용한 high-k 유전체 물질의 식각 특성 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
150㎜ GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
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