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The performance modeling of a 25㎛ pitch VGA μ-bolometer with the self-aligned thermal resistor structure is carried out. The self-aligned thermal resistor can be utilized for the maximizing the thermal resistance and the fill factor of a bolometer, so the performance improvement can be expected. From the results of the performance modeling of the micro-bolometer with self-align thermal resistor for a 25㎛ pitch 640x480 microbolometer designed with 0.6 ㎛ minimum feature size, the drastic improvements of NETD from 38.7 mK to 19.1 mK, responsivity of 1.9 times are expected with a self aligned thermal resistor structure. The main reason for the performance improvements with a self-aligned thermal resistor structure comes from the increasement of the thermal resistance.
목차
Abstract
1. 서론
2. 볼로미터의 성능 지수
3. 자기 정렬 구조를 갖는 볼로미터
4. 자기 정렬 구조를 갖는 25 ㎛피치의 VGA급 볼로미터의 성능 모델링
5. 결론
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1. [단행본] - E. L. Dereniak / 1996 / Infrared Detectors and Systems / Wiley : 395 ~ 414
2. [학술대회논문] - F. Niklaus / 2007 / Uncooled Infrared Bolometer Arrays Operating in a Low to Medium Vacuum Atmosphere:Performance Model and Tradeoffs / Proc. of SPIE 6542
3. [학술지(정기간행물)] - M. Almasri / 2006 / Amorphous silicon two-color microbolometer for uncooled IR detection / IEEE Sensors Journal 6 (2) : 293 ~ 300
4. [학술대회논문] - D. Murphy / 2007 / 640 x 512 17 μm Microbolometer FPA and Sensor Development / Proc. of SPIE 6542
5. [학술지(정기간행물)] - S. Park / 2010 / Performance enhancement of μ-bolometer by increasing fill Factor / Proc. of SPIE 7660
2. [학술대회논문] - F. Niklaus / 2007 / Uncooled Infrared Bolometer Arrays Operating in a Low to Medium Vacuum Atmosphere:Performance Model and Tradeoffs / Proc. of SPIE 6542
3. [학술지(정기간행물)] - M. Almasri / 2006 / Amorphous silicon two-color microbolometer for uncooled IR detection / IEEE Sensors Journal 6 (2) : 293 ~ 300
4. [학술대회논문] - D. Murphy / 2007 / 640 x 512 17 μm Microbolometer FPA and Sensor Development / Proc. of SPIE 6542
5. [학술지(정기간행물)] - S. Park / 2010 / Performance enhancement of μ-bolometer by increasing fill Factor / Proc. of SPIE 7660
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