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자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제24권 제4호
발행연도
2015.1
수록면
264 - 269 (6page)

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An infrared (IR) bolometer measures the change of resistance by absorbing incident IR radiation and generates a signal as a function of the radiation intensity. Since a bolometer requires temperature stabilization and light filtering except for the infrared rays, it is essential for the device to be packaged meeting conditions that above mentioned. Minimization of heat loss is needed in order to stabilize temperature of bolometer. Heat loss by conduction or convection requires a medium, so the heat loss will be minimized if the medium is a vacuum. Therefore, vacuum packaging for bolometer is necessary. Another important element in bolometer packaging is germanium (Ge) window, which transmits IR radiation to heat the bolometer. To ensure a complete transmittance of IR light, anti-reflection (AR) coatings are deposited on both sides of the window. Although the transmittance of Ge window is high for IR rays, it is difficult to use frequently in low-price IR bolometer because of its high price. In this paper, we fabricated IR window by utilizing silicon (Si) substrate instead of Ge in order to reduce the cost of bolometer packaging. To enhance the IR transmittance through Si substrate, it is textured using Reactive Ion Etching (RIE). The texturing process of Si substrate is performed along with the change of experimental conditions such as gas ratio, pressure, etching time and RF power.
#Texturing #Bare silicon wafer #Infrared transmittance

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참고문헌 (12)

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K. N. Chair / 2008 / Vacuum and Hermetic Packaging of MEMS Using Solder / Warren Cornelius Welch III google schola J. H. Lau / 2010 / Electronic Engineering / McGraw-Hill google schola X. He / 2000 / Performance of Microbolometer Focal Plane Arrays Under Varying Pressure / IEEE Electron Device Lett 21(5) google schola T. Glaser / 2005 / High Temperature Resistant Antireflective Moth-eye Structures for Infrared Radiation Sensors / Microsyst. Technol 11(2):86~90 google schola A. Ghosh / 1999 / Antireflection Coating on Germanium for Dual Channel(3-5 and 7. 5-10. 6 um)Thermal Imagers / Infrared Phys. Technol 40:49~53 google schola

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