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반도체와 진공기술
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
반도체 공정용 진공 펌프의 에너지 소비특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
반도체 디스플레이 제조기술: 진공에서 비진공, 다시 진공으로, 기술의 순환
진공이야기
2019 .03
반도체 공정용 대형 알루미늄 진공용기 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
진공 핵심 부품 소재의 특성평가 및 진공공정 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
진공관련 공정장비의 특성 평가시스템 구축에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
국내 및 국외 진공 산업 개발 동향에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
진공공정에서의 잔류기체 분석기를 활용한 실시간 공정 모니터링 : 반도체/LCD 제조 공정을 중심으로
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
반도체 및 디스플레이 공정용 진공부품의 내식 성능평가 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
[보호진공과학상] 진공환경에서의 반도체/OLED 증착소재(precursor) 물성 측정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
대형진공시스템 유지보수 및 관리
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
반도체 제조용 진공 펌프 신제품 개발에 미치는 외부 요인들
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
초박막 공정용 진공펌프 특성평가 및 복합 상태 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
반도체 및 디스플레이 공정용 대용량 건식 진공펌프의 내구성평가에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
반도체 공정의 배기계통 및 진공펌프 실시간 상태진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
진공밸브 특성고찰 및 내구성 평가를 위한 시스템 구축
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
실 공정에서의 저진공 드라이펌프의 에너지 소비량 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
진공산업과 진공학회의 융합
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
PLS-II 저장링 진공시스템 건설
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
저장링 진공시스템의 기초 설계
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
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