Effect of DC bias on structure of hydrogenated amorphous silicon and microcrystalline silicon

이윤정 ,  주성재 ,  임승현 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

화학기상증착법(CVD)을 이용한 진공 박막 공정기술

홍완식

진공이야기

2014 .09

CVD - W/p - Si0.83Ge0.17 / Si(001)의 전기적 및 계면적 특성에 관한 연구

장영철 ,  신동욱 ,  김기수 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Characterization of microcrystalline silicon thin films prepared by a layer - by - layer technique with a PECVD system

C. O. Kim ,  T. U. Nahm ,  J. P. Hong

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1999 .10

VHF-PECVD for a-Si:H and a-SiN:H Film Deposition

Jin Seok Kim

Applied Science and Convergence Technology

2019 .09

MICROCRYSTALLINE Fe - Si - Al - B THIN RIBBON

Guiqin Sun ,  Xiaojun Yu ,  Jikai Zhang 외 2명

한국자기학회지

1995 .10

THE EFFECTS OF ION DOPING ON AMORPHOUS SILICON DEPOSITED BY AP - CVD.

SOON SUNG YOO ,  KYANG NAM KIM ,  BYUNG YEUN MUN 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

Determination of Optical Bandgap and Germanium Content of Hydrogenated Microcrystalline Si1-xGex Films by Ultraviolet-visible and Auger Electron Spectroscopy Measurements

김정수 ,  장경수 ,  박희준 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Fluorinated amorphous carbon thin films grown by plasma enhanced chemical vapor deposition with C₄F8 and Si₂H6 / He for low dielectric constant intermetallic layer dielectrics

Howoon Kim ,  Jang-Kyoo Shin ,  Dae-Hyuk Kwon 외 1명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2003 .12

Large-scale MoS2 growth on SiO2/Si substrate using thermal-CVD

Yongmi Lee ,  Hamcho ,  om Cha 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Large-scale MoS2 growth on SiO2/Si substrate using Thermal-CVD

Yongmi Lee ,  Hamcho ,  om Cha 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Electronic properties of CVD graphene upon gallium deposition

Pavel PROCHAZKA ,  Jind ,  ich MACH 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Direct Deposition of microcrystalline Si Films at Low Temperatures (＜200 ℃) by Catalytic CVD

Tae-Hwan Kim ,  Kyung-Min Lee ,  Sunghwan Won 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

CVD에 의한 Ta₂O5 박막의 성장및 물성 분석

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

The Thin Silicon Films Prepared by Thermal - and Photo - CVD at Low Temperatures

Chan-Hwa CHUNG ,  Jae Hyun HAN ,  Sang Heup MOON

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

Theory of Charged Clusters Linking Nano Science and Technology to Thin Films

Hwang ,  Nong-Moon

한국결정학회 학술연구발표회

2002 .01

Growth and NO₂ sensing properties of CS₂SnI₆ thin film synthesized by non-solution method

Phung Dinh Hoat ,  Hyojun Lim ,  Pham Tien Hung 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

Si / SiGe Epitaxial Growth by UHV - CVD

송석찬 ,  임승현 ,  이승윤 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Ultra Large Area 확장에 유리한 Internal Linear Antenna를 이용하여 Microcrystalline Silicon 증착에 관한 연구

이형철 ,  김홍범 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08