Ultra Large Area 확장에 유리한 Internal Linear Antenna를 이용하여 Microcrystalline Silicon 증착에 관한 연구

이형철; 김홍범; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이형철 김홍범 염근영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 94 - 94 (1page)

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이형철

소속기관 Gwangju Institute of Science and Technology

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 18 이용수 561

김홍범

소속기관 한양대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 8 이용수 138

염근영

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 337 이용수 10,958

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-016964998

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