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학술대회자료
저자정보
권광호 (성균관대학교) 김경남 (성균관대학교) 임종혁 (성균관대학교) 염근영 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제35회 하계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.8
수록면
299 - 299 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구
권광호 ,  임종혁 ,  김경남 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

2008

페로마그네틱 모듈을 적용한 내장형 유도결합 플라즈마 소스의 플라즈마 및 전기적 특성에 관한 연구
권광호 ,  김경남 ,  임종혁 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.08 학술대회자료

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