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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제30회 학술논문발표회 초록집
발행연도
2006.2
수록면
140 - 140 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2007

내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
임종혁 ,  박정균 ,  김경남 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료

2006

선형 유도결합 플라즈마 시스템에서 자장에 의한 플라즈마의 Confinement 효과에 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 한국표면공학회지 2006.06 학술저널
평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 Applied Science and Convergence Technology 2006.05 학술저널
대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2006.04 학술대회자료
평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 한국진공학회 학술발표회초록집 2006.02 학술대회자료

2005

평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마를 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005.11 학술대회자료

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