RF방전에서의 Arcing 현상

김용훈; 서상훈; 장홍영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김용훈 서상훈 장홍영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제29회 학술발표회 초록집

발행연도: 2005.8

수록면: 160 - 160 (1page)

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