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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.2
수록면
308 - 308 (1page)

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2008

O₂ 플라즈마 표면처리에 의한 Bio-FET 소자의 특성 열화 및 후속 열처리에 의한 특성 개선
오세만 ,  정명호 ,  조원주 Applied Science and Convergence Technology 2008.05 학술저널
O₂ ashing 표면처리에 의한 Bio-MOSFET 소자의 특성 열화 및 후속 열처리에 의한 특성 개선
오세만 ,  정명호 ,  조원주 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

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